Verdampingsmaterialen

Welkom onderzoek

• Verdampingsmaterialen

  Aluminium (Al) verdampingpellets

  Aluminiumoxide (Al2O3) verdampingskorrels

  Beryllium (Be) verdampingspellets

  Borium (B) Verdampingpellets

  Chroom (Cr) verdampingpellets

  Kobalt (Co) verdampingpellets

  Koper (Cu) verdampingspellets

  Dysprosium (Dy) verdampingspellets

  Germanium (Ge) verdampingspellets

  Goud (Au) verdampingspellets

  Hafnium (Hf) verdampingspellets

  Hafniumoxide (HfO2) verdampingskorrels

  Holmium (Ho) verdampingspellets

  IJzer (Fe) verdampingpellets

  Magnesiumfluoride (MgF2) verdampingskorrels

  Molybdeen (Mo) verdampingspellets

  Nikkel (Ni) verdampingpellets

  Niobium (Nb) verdampingspellets

  Niobiumoxide (Nb2O5) verdampingskorrels

  Silicium (Si) verdampingskorrels

  Siliciumdioxide (SiO2) verdampingskorrels

  Zilver (Ag) verdampingpellets

  Tantaal (Ta) verdampingpellets

  Tantaaloxide (Ta2O5) verdampingskorrels

  Tin (Sn) verdampingpellets

  Titanium (Ti) verdampingpellets

  Vanadium (V) verdampingspellets

  Titaniumoxide (TiO2) verdampingskorrels

  Titaniumpentoxide (Ti3O5) verdampingskorrels

  Yttrium (Y) verdampingskorrels

  Yttriumoxide (Y2O3) verdampingskorrels

  Zink (Zn) verdampingpellets

  Zinksulfide (ZnS) verdampingskorrels

  Zirkonium (Zr) verdampingspellets

Productkenmerken

Het fysieke verdampingsproces omvat:

Het afzettingsmateriaal wordt verdampt of gesublimeerd tot gasvormige deeltjes → gasvormige deeltjes worden snel getransporteerd van de verdampingsbron naar het substraatoppervlak → gasvormige deeltjes hechten zich aan het substraatoppervlak om te kiemen en uit te groeien tot een vaste film → atomaire filmreconstructie of chemische binding vindt plaats.

Plaats het substraat in de vacuümkamer, verwarm het filmmateriaal door middel van weerstand, elektronenstraal, laser, enz., om het filmmateriaal te verdampen of te sublimeren, en het met bepaalde energie te vergassen tot deeltjes (atomen, moleculen of atomaire groepen) ( 0.1-0.3 eV).

De gasvormige deeltjes worden snel en zonder botsingen in een lineaire beweging naar het substraat getransporteerd. Een deel van de deeltjes die het oppervlak van het substraat bereiken, wordt gereflecteerd en het andere deel wordt geadsorbeerd op het substraat en diffundeert op het oppervlak. Tweedimensionale botsingen vinden plaats tussen afgezette atomen om clusters te vormen. Het kan een korte tijd op het oppervlak blijven voordat het verdampt.

Deeltjesclusters botsen voortdurend met diffunderende deeltjes, absorberen afzonderlijke deeltjes of stoten afzonderlijke deeltjes uit.

Dit proces wordt herhaald. Wanneer het aantal geaggregeerde deeltjes een bepaalde kritische waarde overschrijdt, wordt het een stabiele kern, die vervolgens doorgaat met het absorberen en verspreiden van deeltjes om geleidelijk te groeien. Ten slotte wordt een continue film gevormd door het contact en de samensmelting van aangrenzende stabiele kernen.

3 manieren van verdamping

• 

  Weerstand verdamping

  Principe van weerstandsverdamping: Materialen met een verdampingstemperatuur van 1000-2000 °C kunnen door weerstand als verdampingsbron worden verwarmd. De verwarmer genereert warmte nadat de weerstand is bekrachtigd, en de gegenereerde warmte zorgt ervoor dat de moleculen of atomen van het verdampingsmateriaal voldoende kinetische energie verkrijgen om te verdampen.

  
  

  Voordelen van elektrische huurverdamping:

  1. De verdampingsbron is over het algemeen draadvormig (0.05-0.13 cm), eenvoudig te bedienen, goedkope verbruiksartikelen en eenvoudig te vervangen.

  2. Het verdampende materiaal moet de verwarmingsdraad bevochtigen en ondersteund worden door oppervlaktespanning. Alleen metaal of legering kan worden verdampt en de verwarmingsdraad wordt gemakkelijk bros.

  3. Veelgebruikte verdampingsbronmaterialen zijn: W, Mo, Ta, hittebestendig metaaloxide, keramische of grafietkroes.

  Nadelen van elektrische huurverdamping: er kan een reactie optreden tussen het dragermateriaal en de verdamper; de algemene werktemperatuur is 1500 ~ 1900 ℃, het is moeilijk om een ​​hogere verdampingstemperatuur te bereiken, dus de verdampbare materialen zijn beperkt; de verdampingssnelheid is laag; de verwarmingssnelheid is niet hoog. Als het tijdens het verdampen te verdampen materiaal een legering of verbinding is, kan het ontleden of een andere verdampingssnelheid hebben, waardoor de samenstelling van de film afwijkt van de samenstelling van het verdampte materiaal. Bij hoge temperaturen vormen tantaal en goud legeringen, aluminium, ijzer, nikkel, kobalt, enz. Vormen legeringen met wolfraam, molybdeen, tantaal, enz., en wolfraam, molybdeen reageert met water of zuurstof om vluchtige oxidegassen te vormen.

• 

  Verdamping van elektronenbundels

  
  

  Het principe van verdamping van elektronenbundels:

  De elektronenbundel wordt versneld nadat hij door een elektrisch veld van 5-10KV is gegaan en vervolgens gefocust op het oppervlak van het te verdampen materiaal, en de energie wordt overgebracht naar het te verdampen materiaal om te smelten en te verdampen.

  
  

  Voordelen van verdamping met elektronenbundels:

  1. De verdamping van vuurvaste stoffen kan worden gerealiseerd, en een snelle verdamping kan worden gerealiseerd met een grote vermogensdichtheid om de scheiding van legeringen te voorkomen.

  2. Er kunnen meerdere smeltkroezen tegelijkertijd worden geplaatst en een verscheidenheid aan verschillende stoffen kan tegelijkertijd of afzonderlijk worden verdampt;

  3. Vrij van vervuiling. De meeste elektronenbundelverdampingssystemen maken gebruik van magnetische focusserende of magnetische buigende elektronenbundels. Het verdampte materiaal wordt in een watergekoelde smeltkroes geplaatst en het te verdampen materiaal dat in contact is met de smeltkroes (watergekoelde smeltkroes) blijft vast en verdampt op het oppervlak van het materiaal.

  Effectief de reactie tussen de smeltkroes en het verdampingsmateriaal remmen, de mogelijkheid van de reactie tussen het verdampingsmateriaal en de smeltkroes is zeer klein, geschikt voor de bereiding van zeer zuivere dunne films, en kan dunne filmmaterialen bereiden op het gebied van de optica elektronica en opto-elektronica, zoals Mo, Ta, Nb, MgF2, Ga2Te3, TiO2, Al2O3, SnO2, Si, enz.; De verdampte moleculaire kinetische energie is groter en er kan een stevigere en dichtere film worden verkregen dan weerstandsverhitting.

  Nadelen van verdamping met elektronenstralen: het kan het verdampte gas en het restgas ioniseren, wat soms de kwaliteit van de filmlaag beïnvloedt; de structuur van de elektronenbundelverdampingsinrichting is complex en duur; de gegenereerde röntgenstralen veroorzaken bepaalde schade aan het menselijk lichaam.

• 

  laserverdamping

  Principe van laserverdamping: de laser wordt gebruikt als warmtebron en de hoogenergetische laserstraal gaat door het raam van de vacuümkamer om het verdampte materiaal te verwarmen tot het sublimatiepunt, het in een gas te veranderen en het in een gas te deponeren. film.

  
  

  Voordelen van laserverdamping:

  1. gebruik contactloze verwarming, verminder de vervuiling, vereenvoudig de vacuümkamer, geschikt voor het bereiden van pure films onder ultravacuüm;

  2. De warmtebron is schoon, zonder vervuiling door het verwarmingslichaam;

  3. Door te focussen kan een hoog vermogen worden verkregen en kunnen materialen met een hoog smeltpunt worden afgezet, zoals keramiek en complexe samenstellingsmaterialen (onmiddellijke verdamping);

  4. De straal is geconcentreerd, het laserapparaat kan op grote afstand worden geplaatst en sommige speciale materiaalfilms (zoals hoogradioactieve materialen) kunnen veilig worden afgezet;

  5. Hoge verdampingssnelheid, film heeft een hoge hechting.

  Nadelen van laserverdamping: het is moeilijk om de filmdikte te beheersen; het kan oververhitting, ontleding en sputteren van verbindingen veroorzaken; de kosten van laserverdampingsapparatuur zijn relatief hoog.

Waarom voor ons kiezen

• Strenge kwaliteitscontrole: complete testapparatuur en -systeem.

• Volledige categorie: omvat alle metalen elementen.

• Verschillende vormen: korrels, poeders, vlokken, staven, platen en ringen enz.

• Verschillende zuiverheid: van 2N7-6N5, 99.7% -99.9999% zuiverheid, nog hoger.